一种光学元件定量刻蚀及清洗装置[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种光学元件定量刻蚀及清洗装置专利类型：发明专利

发明人：郭隐彪,叶卉,杨炜,胡陈林,吴沿鹏申请号：CN201310237071.9申请日：20130615公开号：CN103268853A公开日：20130828

摘要：一种光学元件定量刻蚀及清洗装置，涉及一种刻蚀及清洗装置。设有第一直线电机、第二直线电机、支架、底座、刻蚀容器、清洗容器、机械手、数据显示器、超声波传感器、微型水泵、过滤器、喷头、微控制器和超声波发射装置；第一直线电机、第二直线电机、机械手和数据显示器均安装在支架上，支架设于底座上，刻蚀容器和清洗容器置于支架正下方且呈左右设置，超声波传感器安装在刻蚀容器的液仓底部，超声波发射装置安装在清洗容器的液仓底部，清洗容器中安置微型水泵、过滤器和喷头，微型水泵、过滤器和喷头串联连通，超声波传感器信号输出端接微控制器信号输入端，微控制器输出端分别接第一直线电机和第二直线电机，数据显示器与微控制器电连接。

申请人：厦门大学

地址：361005 福建省厦门市思明南路422号

国籍：CN

代理机构：厦门南强之路专利事务所(普通合伙)

代理人：刘勇

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