专利名称：DRY ETCHING APPARATUS发明人：ITO KENICHI,伊藤 賢一申请号：JP特願平8-41391申请日：19960228
公开号：JP特開平9-2322A公开日：19970905
专利附图：
摘要：Array
申请人：NEC KYUSHU LTD,九州日本電気株式会社
地址：熊本県熊本市八幡一丁目1番1号
国籍：JP
代理人：京本 直樹 (外2名)
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