一种激光束焦平面的确定方法[发明专利]

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专利名称：一种激光束焦平面的确定方法专利类型：发明专利

发明人：虞钢,甘政涛,李少霞,宁伟健,郑彩云申请号：CN201410068886.3申请日：20140227公开号：CN103862166A公开日：20140618

摘要：本发明公开了一种激光束焦平面的确定方法。该方法能直接在待加工工件表面确定激光束的焦平面。通过移动待加工工件，以改变激光头以及聚焦镜片与待工件平面的相对位置，同时用一个光电二极管测量激光束在待加工表面反射后的光强（位置尽量靠近反射中心），并将光强信号采集到工控机上，用特定的算法进行分析。当光强为极大值时，此时工件平面与激光束的焦平面重合。该方法可以直接在待加工的工件表面准确的确定激光束的焦平面而不会引进其他误差，并且通过选取合适的激光功率，不会对工件造成破坏。该过程通过闭环控制实现激光束焦平面的自动化寻找。

申请人：中国科学院力学研究所

地址：100190 北京市海淀区北四环西路15号

国籍：CN

代理机构：北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：胡剑辉

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