计量与测试技术￣２ｏ１５丰第４２蓉第７０期 洁净工作台噪声测量值的不确定度评定 刘 丹 芮铭阳 （长春市计量检定测试技术研究院，吉林长春１３００１２） 摘要：本文介绍了洁净工作台噪声测量值的测量不确定度评定方法。 文献标识码：Ａ 国家标准学科分类代码：４６０．４０３０ 关键词：洁净工作台噪声测量不确定度 中图分类号：ＴＮ９４９．６＋３ ＤＯＩ：１０．１５９８８／ｊ．ｅｎｋｉ．１００４—６９４１．２０１５．１０．０４６ Ｅｖａｌｕａｔｉｏｎ ｏｆ Ｕｎｃｅｒｔａｉｎｔｙ ｉｎ Ｎｏｉｓｅ Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ ｆｏｒ Ｃｌｅａｎ Ｂｅｎｃｈ Ｌｉｕ Ｄａｎ Ｒｕｉ Ｍｉｎｇｙａｎｇ １ 概述 洁净工作台是一种箱式局部空气净化设备，由箱体、 风机、预过滤器、高效（或超高效）空气过滤器及电器控 制系统组成，广泛应用于局部净化的区域，如：食品、化妆 品、生物制药、光电产业、微电子、硬盘制造等领域。 噪声的测量是洁净工作台的技术指标中一个重要的参 数，下面对噪声的测量值的测量不确定度评定进行分析。 ２测量方法 “ｊ（△ ）＝ｃ （Ｘ）ｕ （ ） 灵敏系数： ｃｆ ）：一ＯＡＸ：１ ａ ４．２ 当噪声测量值与背景噪声间的差值为（０～３）ｄＢ （Ａ）时，依据测量模型，得到方差： ｕ：（ｚｘｘ）＝ｃ （ｘ）ｕ （ ）＋ｃ （Ｘ。）ｕ （Ｘ。）＋２ｃ （Ｘ）ｃ ＝１ｃ２（ ＝ －＿１ （Ｘｏ）“ （ ）Ｍ （Ｘｏ） 被测洁净工作台置于正常工作条件下，声级计置于 “Ａ”计权模式，在被测洁净工作台前壁面中心水平向外 ３００ｍｍ，高度距地面约１．１ｍ处测量４次，取４次算术平 均值为噪声测量值；关闭被测洁净工作台的风机，在相同 位置测量背景噪声。 ３测量模型 灵敏系数．ｃ１（ ５标准不确定度分量的计算 ５．１ 当噪声测量值与背景噪声问的差值大于３ｄＢ（Ａ） 时，标准不确定度分量的计算如下： ５．１．１ 声级计的不确定度引入的标准不确定度分量“ 声级计的不确定度为Ｕ＝０．３ｄＢ（Ａ），用Ｂ类方法进 行评定，由证书得到，ｋ＝２。 Ｍ （ ）： ：０．１５ｄＢ（Ａ） 由于仪器噪声的计算公式依据噪声测量值与背景噪 声间的差值的大小不同而不同，测量模型有两种情况： ３．１ 当噪声测量值与背景噪声间的差值大于３ｄＢ（Ａ） 时，测量模型如下： △ ＝Ｘ—Ａ 式中：△ 一仪器噪声，ｄＢ（Ａ）； 实测噪声的算术平均值，ｄＢ（Ａ）； 一５．１．２声级计测量重复性引入的不确定度分量 用声级计测量十次，结果如下［ｄＢ（Ａ）］： ６２．５，６３．８，６４．８，６２．６，６０．４，６１．２，６４．９，６３．０， ６３．６，６２．０ Ａ一常数，取０、１、２ｄＢ（Ａ）。 ３．２当噪声测量值与背景噪声间的差值为（０～３）ｄＢ （Ａ）时，测量模型如下： ：背景噪声５０．０ ｄＢ（Ａ） ＡＸ＝Ｘ—Ｘ０ 删实验标准 ：式中：△ 一仪器噪声，ｄＢ（Ａ）； 实测噪声的算术平均值，ｄＢ（Ａ）； ＾Ｊ／ ｉ＝１ ４ 平均值 ＝６２．８ｄＢ（Ａ），实际测量时以４次测量的平均 值作为测量结果，故有 ：背景噪声，ｄＢ（Ａ）。 ４方差和灵敏系数 ｛： ：０．７ ｄＢ（Ａ） ｎ ４ ４．１ 当噪声测量值与背景噪声间的差值大于３ｄＢ（Ａ） 时，依据测量模型，得到方差： 收稿日期：２０１５—０６—１６ ５．１．３标准不确定度一览表 虫ｌ】丹等：洁净Ｉ作台噪声测量值的不确定庹评定 表１ ５．２．３标准不确定度一览表 表２ ５．２ 当噪声测量值与背景噪声间的差值为（０～３）ｄＢ （Ａ）时，标准不确定度分量的计算如下： ５．２．１ 声级计的不确定度引入的标准不确定度分量Ｍ 声级计的不确定度为Ｕ＝０．３ｄＢ（Ａ），用Ｂ类方法进 行评定，由证书得到，Ｊｊ｝＝２。 “标： ：０．１ＳｄＢ（Ａ） ＝６合成标准不确定度 ６．１ 当噪声测量值与背景噪声问的差值大于３ｄＢ（Ａ） 时，合成标准不确定度的计算如下： ｃ＝√ ／２Ｃ １ Ｕ１ ＋ｃ２＋ｃ： ． ２ ＝～／ｉ Ｘ０．１５・ ＋１十 × ×０．７５ ・ ／ ：＾５．２．２声级计测量重复性引入的不确定度分量ｕ： ０．８ｄＢ（Ａ） ５．２．２．１用声级计测量十次，结果如下［ｄＢ（Ａ）］： ５０．８，４８．６，５２．０，５３．８，５２．５，５１．６，５２．４，５３．２， ５０．９，４９．０ ６．２当噪声测量值与背景噪声问的差值为（０～３）ｄＢ （Ａ）时，合成标准不确定度的计算如下： ＝√ｃ ｕ ＋ｃ ｕ ＋２ｃ１ｃ２ １Ｍ２＝０．１ｄＢ（Ａ） 实验标准 ：￣／ ｉ＝ｌ ７ ７扩展不确定度 ７．１ 当噪声测量值与背景噪声间的差值大于３ｄＢ（Ａ） 时，扩展不确定度的计算如下： 取包含因子ｋ＝２，洁净工作台噪声的扩展不确定度 为：Ｕ＝ ・ ＝２ Ｘ０．８：１．６ｄＢ（Ａ） 平均值 ＝５１．５ｄＢ（Ａ），实际测量时以４次测量的平均 值作为测量结果，故有 （ ）：砉：４ ｎ √ １．斗７＿ｏ ．８ ｄＢ（Ａ） ５．２．２．２背景噪声测量十次，结果如下ｄＢ（Ａ）： ５０．０，５０．３，５１．０，５０．９，５２．１，４９．３，４９．６，５１．２， ５０．７．５１．４ ７．２当噪声测量值与背景噪声问的差值为（０～３）ｄＢ （Ａ）时，扩展不确定度的计算如下： 取包含因子 ＝２，洁净工作台噪声的扩展不确定度 为：Ｕ＝ｋ・ ＝２ Ｘ０．１＝０．２ｄＢ（Ａ） 参考文献 得到实验标准偏差 ：√ ￣圣ｉ－ｉＸ互）２：。．９ ｄＢ Ａ ， ［１］ＪＧ／Ｔ ２９２～２０１０《洁净工作台》． ［２］ＪＪＦ １０５９．１—２０１２（￣量不确定度评定与表示》． ｆ３］ＪＪＦ １００１—２０１１《通用计量术语及定义》技术规范． 平均值 ＝５０．６ｄＢ（Ａ），实际测量时以１次测量的平均 值作为测量结果，故有 作者简介：刘丹，女，工程师。工作单位：长春市计量检定测试技术研究院。 通讯地址：１３００１２吉林春市硅谷大街９２８号。 “：：（ ）＝嘉＝０ ．９＝０．９ ｄＢ（Ａ） （上接第９３页） １．３泵流量设定值误差的不确定度来源和不确定度分 量一览表（表１） 表１ 芮铭阳，长春市计量检定测试技术研究院（长春１３００１２）。 １．４对输液系统泵流量的相对标准不确定度进行合成 （≯） ＝（ ） ＋（ ） ＋（ ） ｂ＝，／ｏ．３５％ ＋０．０１％ ＋０．２１％ ＝０．４２％ 不确定度来源 标准不确定度相对标准不确定度 ０．０１４ ｇ ０．３５％ 重复称量引入的不确定度 ０．４１ ｍｇ ０．０１０％ 流动相质量引入的不确定度 ０．５８ ｍｇ ０．０１４％ 电子天平的偏载误差引入的不确定度 电子天平重复性引入的不确定度分量 ０．５８ ｍｇ ０．０１４％ 电子天平分辨力引入的不确定度 天平的变动性、线性及空气浮力引入 的不确定度 忽略 忽略 Ｏ．２９ Ｓ １．５输液系统泵流量设定值误差的扩展不确定度 取包含因子ｋ＝２，于是泵流量设定值误差的扩展不 确定度为： Ｕｒｏｂ＝２・“ ｂ＝２ Ｘ０．４２％＝０．９％ 忽略 忽略 ０．０９７％ 输液系统泵流量设定值误差的扩展不确定度为 ０．９％（ ＝２）。 （未完待续） 秒表示值误差引入的不确定度 秒表操作误差引入的不确定度 秒表分辨力引入的不确定度 Ｏ．０１２ ｓ ０．００４％ ０．００１％ Ｏ．２１％ ０．００３ Ｓ 流边塑宣度变化引入的不确定度’０．Ｏ０１７ｇ／ｃｍ 作者简介：龙元平，女，高级工程师。工作单位：贵州省计量测试院。通讯 地址：５５０００３贵州省贵阳市头桥海马冲街１１１号。
